特許
J-GLOBAL ID：200903035910516462

多層薄膜の膜厚測定方法

発明者：
小向 拓治

小向 拓治 について


出願人/特許権者：
ソナック株式会社

ソナック株式会社 について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-098969
公開番号（公開出願番号）：特開2009-250783
出願日： 2008年04月07日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】多層薄膜における各層の薄膜の膜厚を短時間にて測定可能とする。【解決手段】本膜厚測定方法は、膜厚既知の各層薄膜を透過可能な長波長光の光入射に対する光反射率のデータと、膜厚既知の上層側薄膜を透過するが膜厚既知の下層側薄膜に対する光透過度が長波長光に比較して小さい短波長光の光入射に対する光反射率データとを基準データとして持つ第1ステップと、膜厚測定対象となる各薄膜への長波長光の光入射に対する光反射率の測定データを長波長光測定データとして、また上層側薄膜への短波長光の光入射に対する光反射率の測定データを短波長光測定データとして得る第2ステップと、長波長光における基準データと光測定データとの比較、また、短波長光における基準データと測定データとの比較で各層薄膜の膜厚を演算する第3ステップと、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上における膜厚測定対象が、光反射特性が相違する上層側、下層側少なくとも2層からなる多層薄膜に対してそれぞれの膜厚を測定する方法において、 膜厚が共に既知である上層側、下層側両薄膜を透過することが可能な長波長光の光入射に対する光反射率のデータを長波長光基準データとして、また、膜厚既知である上層側薄膜を透過するが膜厚既知である下層側薄膜に対する光透過度が長波長光に比較して小さい短波長光の光入射に対する光反射率のデータを短波長光基準データとして持つ第1ステップと、 膜厚測定対象となる上層側、下層側両薄膜への長波長光の光入射に対する光反射率の測定データを長波長光測定データとして、また上層側薄膜への短波長光の光入射に対する光反射率の測定データを短波長光測定データとして得る第2ステップと、 長波長光における上記基準データと測定データとを比較し、また、短波長光における上記基準データと測定データとを比較して上記両薄膜の膜厚を演算する第3ステップと、 を含むことを特徴とする薄膜膜厚測定方法。
IPC (1件)：
G01B 11/06
FI (1件)：
G01B11/06 Z
Fターム (12件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065FF61 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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