特許
J-GLOBAL ID：200903036389111309
角速度センサ素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-210928
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024810
出願日： 2005年07月21日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】誤検出を低減させることができるとともに、角速度センサ素子の耐久信頼性を向上させることができる角速度センサ素子を提供することを目的とする。【解決手段】振動部2と、この振動部2を支持する固着部3と、振動部2の一面に形成され、かつこの振動部2を励振させる駆動電極6と、振動部2における駆動電極6と同一方向の面に形成され、かつ振動部2が回転運動をすることにより励振方向の垂直方向に生じる振動を検知する検出電極7とを備え、前記振動部2における駆動電極6および検出電極7が形成された面のみに駆動電極6および検出電極7を覆う保護膜8を設けたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
振動部と、この振動部を支持する固着部と、前記振動部の一面に形成され、かつこの振動部を励振させる駆動電極と、前記振動部における前記駆動電極と同一方向の面に形成され、かつ前記振動部が回転運動をすることにより励振方向の垂直方向に生じる振動を検知する検出電極とを備え、前記振動部における前記駆動電極および前記検出電極が形成された面のみに前記駆動電極および前記検出電極を覆う保護膜を設けた角速度センサ素子。
IPC (5件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
, H01L 41/187
, H01L 41/22
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA08
, 2F105BB03
, 2F105BB20
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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