特許
J-GLOBAL ID：200903036559812919
MEMSスイッチおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-093595
公開番号（公開出願番号）：特開2009-245877
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】可動接点と両固定接点との間の寄生容量を低減しつつ、より低消費電力で所望の接圧を確保することが可能なMEMSスイッチおよびその製造方法を提供する。【解決手段】構造体部2は、ベース基板1の厚み方向に直交する面内の中央部に可動接点25が設けられ、支持部22が平面視において可動接点25を中心として可動板部21を囲む仮想四角形VSの4つの角それぞれに設けられ、可撓部23が仮想四角形VSの各辺のうち固定接点35,35の並設方向に直交する辺に沿って配置され、可撓部23における支持部22側とは反対側の端部が上記並設方向に沿った連結部28を介して可動板部21と連結され、圧電アクチュエータ4は、可動接点25を中心として4つの可撓部23それぞれの同じ位置に設けられ、静電アクチュエータ5は、上記並設方向において隣り合う可撓部23,23の間に設けられ、圧電アクチュエータ4よりも平面視の面積が大きい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、ベース基板の厚み方向の一表面側に固定された支持部に帯板状の可撓部を介して前記厚み方向へ変位可能に支持され可動接点が設けられた可動板部を有する構造体部と、前記厚み方向において可動接点から離間して配置され可動接点が接離する固定接点を有する一対の信号線と、可動接点が両固定接点に近づく向きに可動接点を変位させる駆動手段とを備え、駆動手段は、可撓部に設けられてなり圧電層の厚み方向の両側の電極間に電圧を印加したときに可動接点が両固定接点に近づく向きに変位するように可撓部を変形させる圧電アクチュエータと、可動板部に設けられた可動電極および当該可動電極に対向配置された固定電極を有し可動電極と固定電極との間に電圧を印加したときに可動接点が両固定接点に近づく向きに可動接点を変位させる静電アクチュエータとを備え、構造体部は、ベース基板の前記厚み方向に直交する面内の中央部に可動接点が設けられ、支持部が平面視において可動接点を中心として可動板部を囲む仮想四角形の4つの角それぞれに設けられ、可撓部が前記仮想四角形の各辺のうち固定接点の並設方向に直交する辺に沿って配置され、可撓部における支持部側とは反対側の端部が前記並設方向に沿って形成された連結部を介して可動板部と連結され、圧電アクチュエータは、可動接点を中心として4つの可撓部それぞれの同じ位置に設けられ、静電アクチュエータは、可動板部において可動接点を中心として固定接点の並設方向に直交する方向の両側の同じ位置で、前記並設方向において隣り合う可撓部の間に設けられ、圧電アクチュエータよりも平面視における面積が大きいことを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (9件)：
H01H 59/00
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H01H 49/00
, H01H 57/00
H01H59/00
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H49/00 L
, H01H57/00 Z
3C081AA01
, 3C081AA09
, 3C081BA30
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA55
, 3C081CA03
, 3C081CA32
, 3C081DA21
, 3C081EA23
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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