ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-265151
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132995
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】高感度かつ高解像度であり、硬化した後のパターン側壁の角度が高い特性を有するポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ポリアミド樹脂(A)100重量部と、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部と、一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F7/037 , C08G69/26 , C08G69/42 , G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (7件)：

G03F7/037 , C08G69/26 , C08G69/42 , G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R

Fターム (37件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BC51 , 2H025BC68 , 2H025BC69 , 2H025BC70 , 2H025BE01 , 2H025CB23 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB02 , 4J001DC05 , 4J001DC08 , 4J001DC10 , 4J001DC16 , 4J001DD02 , 4J001DD07 , 4J001EB44 , 4J001EB57 , 4J001EC38 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC70 , 4J001FB03 , 4J001FC03 , 4J001GA13 , 4J001JA20 , 4J001JB18

引用特許：

審査官引用 (12件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096910 出願人：旭化成工業株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-217692 出願人：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-085194 出願人：住友ベークライト株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

化学大辞典, 19861020, 108、111

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