特許
J-GLOBAL ID:200903038390188660

マイクロ波励起放電ランプ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 五十畑 勉男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-132024
公開番号(公開出願番号):特開2008-288041
出願日: 2007年05月17日
公開日(公表日): 2008年11月27日
要約:
【課題】この発明は、有害物質である金属カドミウムを封入することなく、放射される光の波長が210nm〜230nmに強い発光強度を持ち、擬似点光源として利用可能なショートアーク放電ランプを提供することにある。【解決手段】膨出部と該膨出部に連設する細管部とを有する放電容器、該放電容器内に互いの先端部が対向配置するよう設けられたアンテナ、から成る放電ランプと、該放電ランプの該放電空間内に電磁波を供給する電磁波励起手段と、を具備した電磁励起型放電ランプ装置であって、該放電容器内には、水銀を2mg/cc〜20mg/cc封入し、バッファガスとして希ガスを封入し、該細管部に配置された該アンテナを介して電磁波を該アンテナ間に集中させ放電プラズマを形成することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光透過性の非導電性材料で形成され膨出部と該膨出部に連設する細管部とを有する放電容器、該放電容器外部に突出することなく該放電容器内に互いの先端部が対向配置するよう設けられたアンテナ、から成る放電ランプと、該放電ランプの該放電空間内に電磁波を供給する電磁波励起手段と、を具備した電磁励起型放電ランプ装置であって、 該放電容器内には、水銀を2mg/cc乃至20mg/cc封入し、バッファガスとして希ガスを封入し、該細管部に配置された該アンテナを介して電磁波を該アンテナ間に集中させ放電プラズマを形成することを特徴とした電磁励起型放電ランプ装置。
IPC (1件):
H01J 65/04
FI (1件):
H01J65/04 B
Fターム (3件):
5C039PP02 ,  5C039PP08 ,  5C039PP16
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (9件)
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