特許
J-GLOBAL ID：200903039948775610

配線構造、その製造方法、および光学装置

発明者：
曽谷 直哉

曽谷 直哉 について

, 
鈴木 浩司

鈴木 浩司 について

, 
宮井 良雄

宮井 良雄 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-062670
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264192
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】 配線構造を低抵抗化するとともに信頼性を高める。【解決手段】 ランタノイド元素を含むアルミニウムの合金により構成された配線構造であって、その合金の結晶の数平均粒子径が16.9nm以上である配線構造を形成する。合金の結晶の粒子径を電子の平均移動行程より大きくすることにより、配線構造を低抵抗化する。
請求項（抜粋）：
ランタノイド元素を含むアルミニウムの合金により構成された配線構造であって、その合金の結晶の平均粒子径が16.9nm以上であることを特徴とする配線構造。
IPC (8件)：
H01L 21/3205 ,  C23C 14/34 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 330 ,  G09F 9/30 365 ,  H01L 21/285 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/14
FI (8件)：
C23C 14/34 R ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/30 330 Z ,  G09F 9/30 365 Z ,  H01L 21/285 S ,  H05B 33/14 A ,  H01L 21/88 N ,  H01L 29/78 612 C
Fターム (111件)：
3K007AB06 ,  3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CC00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA23 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029EA03 ,  4K029EA08 ,  4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104CC01 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39 ,  4M104DD40 ,  4M104EE03 ,  4M104FF13 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104HH01 ,  4M104HH16 ,  5C094AA04 ,  5C094AA21 ,  5C094AA32 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA10 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB20 ,  5C094JA08 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH10 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ10 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ21 ,  5F033KK01 ,  5F033LL06 ,  5F033LL08 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033NN06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033VV04 ,  5F033VV15 ,  5F033WW01 ,  5F033WW03 ,  5F033WW05 ,  5F033XX05 ,  5F033XX10 ,  5F110AA03 ,  5F110AA14 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110EE04 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110HJ12 ,  5F110HL03 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5G435AA01 ,  5G435AA14 ,  5G435AA16 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (8件)
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