特許
J-GLOBAL ID：200903042961556139

欠陥を検出する方法及びそのための装置

発明者：
坂井 一文

坂井 一文 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (3件)： 富崎 元成 ,  町田 光信 ,  円城寺 貞夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-179208
公開番号（公開出願番号）：特開2008-008740
出願日： 2006年06月29日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】被検査体表面の異物、析出物等の欠陥と内部の空洞欠陥とを区別して高分解能で検出できるようにする。【解決手段】レーザー装置5により発せられたレーザーをアナライザー6を介して偏光を与えて被検査体Wに斜め方向に入射させ、その散乱光SBをクロスニコルに配置されたアナライザー8を介して暗視野に設置されたCCDカメラで撮像し、得られた画像データから散乱光の強度を求める。被検査体は超音波を印加していない状態と、超音波を印加した状態とに切り換えられるようにしておき、被検査体に超音波を印加しない時と、印加した時とについて、それぞれ散乱光を検出し強度を求め、両方の散乱光の強度の差が所定の閾値を超える時に散乱光が被検査体内の空洞欠陥によるものであり、閾値を超えない時に他の種類の欠陥であると判別する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
超音波を印加していない状態と、超音波を印加した状態とにおいて被検査体内に浸透し得る波長のレーザーをポラライザーにより偏光を与えた上で前記被検査体の面上の位置に照射しその散乱光の強度をクロスニコルに配置されたアナライザーを介して暗視野に設置された検出手段で検出することにより被検査体の欠陥を検出する方法であって、 前記被検査体に超音波を印加していない状態で前記被検査体の面上の位置において所定角度をなして斜め方向にレーザーを照射してその散乱光を検出し強度を求めることと、 前記被検査体に超音波を印加した状態で前記超音波を印加していない状態でレーザーを入射させたのと同じ前記被検査体の面上の位置において同じ所定角度をなして斜め方向にレーザーを照射してその散乱光を検出し強度を求めることと、 前記被検査体に超音波を印加していない状態で求められた散乱光の強度と前記被検査体に超音波を印加した状態で求められた散乱光の強度との差を求めて両方の散乱光の強度の差が所定の閾値を超える時に散乱光が被検査体内の空洞欠陥によるものであり、閾値を超えない時に他の種類の欠陥であると判別することと、 からなることを特徴とする欠陥を検出する方法。
IPC (3件)：
G01N 21/89 ,  G01N 29/04 ,  G01N 21/956
FI (3件)：
G01N21/89 H ,  G01N29/04 ,  G01N21/956 A
Fターム (13件)：
2G047AA09 ,  2G047AC10 ,  2G047BA00 ,  2G047BC09 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01
引用特許：
出願人引用 (17件)
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