特許
J-GLOBAL ID：200903044442755178
薄膜バルク音響共振器、その製造方法、フィルタ、複合電子部品および通信機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260724
公開番号（公開出願番号）：特開2005-110230
出願日： 2004年09月08日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 製造プロセスが煩雑でなく、かつ設計の自由度を有していながらも、横方向伝搬モードを効率良く抑圧することができるように改良された薄膜バルク音響共振器を提供すること。【解決手段】 本発明は、薄膜バルク音響共振器100であって、圧電膜103と、圧電膜103を挟むように配置された一対の電極101,102とを備える。圧電膜103は、一対の電極101,102および圧電膜103から構成される共振器の周囲の少なくとも一部から外方向に延びて形成されている外領域104を含む。外領域104は、少なくとも一部に、音波を減衰させるための音響減衰領域105を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薄膜バルク音響共振器であって、
圧電膜と、
前記圧電膜を挟むように配置された一対の電極とを備え、
前記圧電膜は、前記一対の電極および前記圧電膜から構成される共振器部分の周囲の少なくとも一部から外方向に延びて形成されている外領域を含み、
前記外領域は、少なくとも一部に、音波を減衰させるための音響減衰領域を有することを特徴とする、薄膜バルク音響共振器。
IPC (7件)：
H03H9/17
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/22
, H03H3/02
, H03H9/54
, H03H9/58
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H03H9/54 Z
, H03H9/58 A
, H01L41/08 U
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101Z
5J108AA01
, 5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108KK07
, 5J108MM11
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (10件)
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