特許
J-GLOBAL ID：200903044753574673
露光装置及びこの装置を用いた露光方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093022
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007937
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【課題】 改善された露光装置及びこの装置を用いた露光方法と四重極露光系および環状露光系を組合わせした形態の露光方法を提供する。【解決手段】 光源からの光を制限するフィルタ6b、フィルタ6bからの光を屈折および回折させるコンデンサーレンズ6cおよびマスク6d、マスク6dからの光をウェーハ6f上に集光させるレンズ6eを具備し、前記フィルタ6bが4個のホールを含む第1グループホールと第2グループホールを具備することを特徴とする露光装置。これにより、解像度を従来の変形露光装置以上に維持し、像形成面(またはウェーハ)上に均一な光の強さ分布を形成できる。また、マスクパターンを通過する光が持つ像形成情報を均一にすることにより、円形に近いコンタクトホールパターンを形成でき、近接効果も縮められる。
請求項（抜粋）：
光源部、前記光源部から放出する光を制限するフィルタを含む調節部、前記調節部から出る光を屈折および回折させる屈折および回折部、前記屈折および回折部から出る光をウェーハ上に集光させる集光部を具備する変形露光装置において、前記フィルタはサイズは同じであるが、フィルタの中心からの距離は相異なる第1グループホールと第2グループホールを具備することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 527
