特許
J-GLOBAL ID：200903045647127508

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
諏訪 充史

諏訪 充史 について

, 
藤田 陽二

藤田 陽二 について

, 
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-182706
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235860
出願日： 2000年06月19日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基、R4は水素原子、水酸基、炭素数1から10までの炭化水素基を示す。R5は不飽和炭化水素基を少なくとも1つ以上含有する炭素数1から10までの炭化水素基、ニトロ基、メチロール基、エステル基、ヒドロキシアルキニル基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。p+q>0である。)
IPC (9件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/14 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312
FI (9件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/14 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 C ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (69件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BJ04 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  4J002CM041 ,  4J002EJ036 ,  4J002EJ046 ,  4J002EQ037 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PB08 ,  4J043PC025 ,  4J043PC065 ,  4J043PC075 ,  4J043PC115 ,  4J043QB15 ,  4J043QB31 ,  4J043QB32 ,  4J043QB33 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043TA02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA47 ,  4J043TA71 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA381 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB051 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB231 ,  4J043UB232 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA032 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA072 ,  4J043WA06 ,  4J043XB09 ,  4J043ZA21 ,  4J043ZB22 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH01 ,  5F058AH02
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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