特許
J-GLOBAL ID：200903046239538725

タッチ信号プローブの動作制御構造

発明者：
日高 和彦

日高 和彦 について

, 
岡本 清和

岡本 清和 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-101149
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292145
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 超音波式タッチ信号プローブを倣い測定、連続測定用のプローブとして用いることができ、かつ被測定物の形状を高精度に測定することのできるタッチ信号プローブの動作制御構造を提供すること。【解決手段】検出精度の高い超音波式タッチ信号プローブ100を動作させる支持体23の動作制御を行うタッチ信号プローブの動作制御構造は、スタイラスを軸方向に振動させる加振手段と、この加振手段によるスタイラスの振動を検出信号として検出する検出手段5と、被測定物の端面に略平行な方向にスタイラスを振動させる第2加振手段と、検出手段で検出された検出信号の状態量の変化が一定となるように、支持体23の動作制御を行う制御手段31とを備えている。
請求項（抜粋）：
被測定物と接触する接触部を先端に有するスタイラスと、このスタイラスを支持するスタイラスホルダと、前記スタイラスを軸方向に周波数f1で振動させる加振手段と、この加振手段による前記スタイラスの振動の変化を検出する検出手段とを備えたタッチ信号プローブの動作制御を行うタッチ信号プローブの動作制御構造であって、前記スタイラスホルダと機械的に結合され、外部からの指令により三次元空間内を前記被測定物に対して所定の速度ベクトルで相対運動する支持体と、前記被測定物の端面に沿って前記スタイラスと前記被測定物を相対的に周波数f2で振動させる第2加振手段と、この第2加振手段により前記スタイラスを相対振動させながら、前記被測定物の端面に前記接触部を接触させた際、前記接触部および前記被測定物の端面の接触に伴う前記検出手段による検出信号の状態量の変化が一定となるように、前記支持体または前記被測定物の動作制御を行う制御手段とを備えていることを特徴とするタッチ信号プローブの動作制御構造。
IPC (2件)：
G01B 21/00 ,  G01B 7/00
FI (2件)：
G01B 21/00 B ,  G01B 7/00 S
Fターム (22件)：
2F063AA04 ,  2F063CA09 ,  2F063DA02 ,  2F063DA04 ,  2F063DB02 ,  2F063EB02 ,  2F063JA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069DD19 ,  2F069GG02 ,  2F069GG09 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ28 ,  2F069LL02 ,  2F069LL13 ,  2F069MM32 ,  2F069NN00 ,  2F069NN10
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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