三次元分極計測用の走査型非線形誘電率顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山田益男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-084529
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286617
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、非線形誘電率顕微鏡において試料に対して異なる方向からの交番電界を印加できる手段を実現し、それに基く容量変化の測定をして三次元分極を高分解能で観測できる新たな非線形誘電率顕微鏡を開発し、提供することにある。【解決手段】本発明の走査型非線形誘電率顕微鏡は、非線形を起こすための交番電界の方向を容量変化を計測するための高周波電界の方向に対して直交する方向に印加することで試料表面に沿った水平方向の分極成分の検出を可能とすると共に、この試料表面に沿った水平方向に対峙する電極対を直交する二組とすることによってあらゆる水平方向の電界の印加を可能とし、更にはこの印加電界に従来の試料面に垂直方向の電界を加えることによって非線形を起こすための交番電界の方向を三次元的に自由に設定できるように構成した。

請求項（抜粋）：

非線形を起こすために試料に低周波の交番電界を印加させ、その容量変化を計測するために試料表面に接触させる探針と、該探針と該探針先端部より十分大きな面積を有する電極間(ただし、この静電容量は探針直下の静電容量よりはるかに大である)に高周波電界を印加する走査型非線形誘電率顕微鏡において、前記非線形を起こすための低周波の交番電界を試料表面方向に印加することを特徴とする走査型非線形誘電率顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (5件)

誘電率計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-275553 出願人：株式会社ニコン
誘電体誘電率および同調性の定量結像
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-523885 出願人：ユニヴァーシティーオブメリーランド,カレッジパーク
走査型静電容量顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-186665 出願人：株式会社ニコン

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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