マスク、該マスクを用いた成膜装置、及び、該マスクを用いた成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岩田今日文 , 瀬戸さより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-146701
公開番号（公開出願番号）：特開2009-293074
出願日： 2008年06月04日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

【課題】マスク交換の作業性を向上させる。【解決手段】四角形のガラス基板3の4辺各々に対応する4つのマスク4が用意され、該4つのマスクは、分割された状態で成膜室1の内部に設置されている。そして、各マスク4を、ガラス基板3と同一平面上であってガラス基板3の各辺に対して垂直な方向において直線的に移動させると、分割された各マスク4が互いに接続し合って一つの集合体としてのマスクになる。このとき、ガラス基板3の全周縁が各マスク4で覆われる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状の基体の処理に使用されるマスクであって、前記基体の周縁の一部又は全てと接触する複数の部品からなり、前記処理の際に複数の該部品を該基体の周縁で接続させて一つの集合体として使用するマスク。

IPC (1件)：

C23C 14/04

FI (1件)：

C23C14/04 A

Fターム (4件)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029CA05 , 4K029HA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

ガラス基板成膜用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-380294 出願人：オプトレックス株式会社, 日本精機株式会社

審査官引用 (6件)

スパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-364974 出願人：日本電気株式会社
分子線エピタキシャル結晶成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-148681 出願人：三菱電機株式会社
マスク配設装置およびスパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-223488 出願人：松下電器産業株式会社

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