特許
J-GLOBAL ID：200903048093800859
コンデンサーマイクロフォン及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-110319
公開番号（公開出願番号）：特開2005-110204
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 所望の共振周波数を有する超小型のコンデンサーマイクロフォンを提供すること。【解決手段】 コンデンサーマイクロフォン1は、ベースプレート31とバックプレート13と振動板32と梁部12aとを有する。振動板32と梁部12aとは一体に形成されている。振動板32は、バックプレート13との間に空隙Aを保って対向配置されている。梁部12aの表面には、可動側電極としてのAl膜51が設けられ、バックプレート13の表面には、固定側電極としてのAl膜52が設けられ、Al膜51,52は同一平面上にある。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
フォトリソグラフィー法で作製されるコンデンサーマイクロフォンであって、
周辺部がベースプレート上に支持されるバックプレートと、
前記バックプレートと所定の間隔を空けて設けられる振動板と、
前記振動板を前記ベースプレートから吊持する梁状部材と、
前記振動板と前記バックプレートとの間の容量変化を電気信号として取り出す一対の電極とを備えることを特徴とするコンデンサーマイクロフォン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5D021CC02
, 5D021CC07
, 5D021CC20
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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