特許
J-GLOBAL ID：200903048476844183
感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズならびにそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大島 正孝
, 勝又 秀夫
, 白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-074501
公開番号（公開出願番号）：特開2008-233619
出願日： 2007年03月22日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えて現像処理を行ってもなお良好なパターン形状を形成できるような現像マージンを有し、且つ基板との密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)カルボキシル基を有する特定の不飽和化合物、(a2)脂環式エポキシ骨格を有する特定の不飽和化合物ならびに(a3)上記(a1)および(a2)以外の不飽和化合物の共重合体ならびに[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A](a1)下記式(1)
IPC (6件)：
G03F 7/023
, G03F 7/40
, G02B 3/00
, H01L 21/027
, C08G 59/32
, C08G 59/68
G03F7/023
, G03F7/40 501
, G02B3/00 Z
, H01L21/30 502R
, C08G59/32
, C08G59/68
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AA06
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB30
, 2H025CC04
, 2H025CC17
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA25
, 2H096AA26
, 2H096AA28
, 2H096BA10
, 2H096EA02
, 2H096GA09
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 4J036AK08
, 4J036DC48
, 4J036JA09
