特許
J-GLOBAL ID：200903051381754226

プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

発明者：
仲野 陽

仲野 陽 について

, 
大見 忠弘

大見 忠弘 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について

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大見 忠弘

大見 忠弘 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022323
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224112
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ励起電極に印加される高周波電力を正確に把握して安定した励起電力制御をして、均質なプラズマ処理が可能なプラズマ処理装置の提供を目的とする。【解決手段】 プラズマ励起電極(カソード電極)に高周波電力を供給する電力配電体を流れる電流をモニターするための電流検出手段と、該電流検出手段によって検出した電流値が所定の値となるように前記高周波電源の出力を制御する制御手段と、プラズマを励起するための電極に印加する電力を調整するために前記制御手段によって得られた制御信号を高周波電力電源又は整合回路にフィードバックするフィードバック回路とを具備しているプラズマ処理装置とする。
請求項（抜粋）：
プラズマを励起するための電極を有するプラズマ処理室と、前記電極に高周波電力を供給するための高周波電源と、入力端子と出力端子とを有し、前記入力端子に高周波電力給電体を介して前記高周波電源が接続され、前記出力端子に高周波電力配電体を介して前記電極が接続され、これら入出力端子の間に接地電位部分が接続されるとともに、前記プラズマ処理室と前記高周波電源とのインピーダンス整合を得るための整合回路とを具備するプラズマ処理装置であって、前記電力配電体を流れる電流をモニターするための電流検出手段と、該電流検出手段によって検出した電流値が所定の値となるように前記高周波電源の出力を制御する制御手段と、プラズマを励起するための電極に印加する電力を調整するために前記制御手段によって得られた制御信号を高周波電力電源又は整合回路にフィードバックするフィードバック回路とを具備していることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205
FI (3件)：
C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 101 B
Fターム (18件)：
4K030FA03 ,  4K030JA16 ,  4K030KA30 ,  4K030KA41 ,  5F004AA01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BD03 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F004CB05 ,  5F045AA08 ,  5F045AA19 ,  5F045DP03 ,  5F045EF05 ,  5F045EH14 ,  5F045EH19 ,  5F045GB04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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