特許
J-GLOBAL ID：200903052584940803
集積化分波器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-349291
公開番号（公開出願番号）：特開2008-160654
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】 非常に小型で、低背化が可能であり、且つ、良好な特性を有する集積化分波器と、小型、高性能の高周波分波器を提供する。【解決手段】 半導体基板の上面に絶縁層が形成された基板上に薄膜圧電共振器からなる薄膜圧電フィルタと、集積化フィルタとが形成された集積化分波器であり、前記薄膜圧電共振器は、圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極及び下部電極とを有する圧電共振スタックと、該圧電共振スタックの下に形成された空隙または音響反射層と、前記圧電共振スタックを支持する前記基板とから構成され、前記集積化フィルタは、前記絶縁層上に形成され、インダクタ及びキャパシタの電気要素から構成されている集積化分波器に関する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の上面に絶縁層が形成された基板上に薄膜圧電共振器からなる薄膜圧電フィルタと、集積化フィルタとが形成された集積化分波器であり、前記薄膜圧電共振器は、圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極及び下部電極とを有する圧電共振スタックと、該圧電共振スタックの下に形成された空隙または音響反射層と、前記圧電共振スタックを支持する前記基板とから構成され、前記集積化フィルタは、前記絶縁層上に形成され、インダクタ及びキャパシタの電気要素から構成されている集積化分波器。
IPC (7件)：
H03H 9/70
, H03H 9/54
, H03H 9/17
, H01L 41/08
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H9/70
, H03H9/54 Z
, H03H9/17 F
, H01L41/08 D
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101Z
5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108GG03
, 5J108HH04
, 5J108JJ01
, 5J108JJ02
, 5J108JJ04
, 5J108KK01
, 5J108KK02
, 5J108KK03
