高周波電源装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289437
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103102
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】出力周波数とは異なる他の高周波電源装置の出力周波数成分が反射波に含まれるような場合に、内部にある増幅素子等を反射波から保護するために、反射波のレベルを低減させる。【解決手段】高周波電力の供給源となる高周波出力手段を備え、負荷にプラズマ発生用の高周波電力を供給する高周波電源装置において、高周波電源装置の出力端における進行波電圧および反射波電圧を検出する方向性結合器14と、第1発振信号を出力する第1発振部19と、第2発振信号を出力する第2発振部21と、反射波電力値を演算する反射波電力演算部16と、第2発振信号の位相を調整する位相調整部22と、第2発振信号の変調指数を調整する変調指数調整部23と、前記第1発振信号を位相及び変調指数が調整された前記第2発振信号で周波数変調した被変調信号を出力する変調部24とを備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

高周波電力の供給源となる高周波出力手段を備え、負荷にプラズマ発生用の高周波電力を供給する高周波電源装置において、高周波電源装置の出力端における進行波電圧および反射波電圧を検出して、進行波電圧に対応する進行波信号および反射波電圧に対応する反射波信号を出力する高周波検出手段と、予め定められた第1周波数で発振させた信号を第1発振信号として出力する第1発振手段と、予め定められた第2周波数帯域内の周波数で発振させた信号を第2発振信号として出力する第2発振手段と、前記高周波検出手段から出力された反射波信号に基づいて反射波電力値を演算する反射波電力演算手段と、前記第2発振手段から出力された第2発振信号の位相を調整する位相調整手段と、前記第2発振手段から出力された第2発振信号の変調指数を調整する変調指数調整手段と、前記第1発振信号を位相及び変調指数が調整された前記第2発振信号で周波数変調した被変調信号を出力する変調手段と、前記変調手段から出力する被変調信号または被変調信号の出力レベルを制御した信号を増幅して出力する高周波出力手段と、を備えたことを特徴とする高周波電源装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , H03G 3/30 , H01L 21/306

FI (3件)：

H05H1/46 R , H03G3/30 B , H01L21/302 101Z

Fターム (6件)：

5F004BB11 , 5F004CA03 , 5J100JA01 , 5J100LA01 , 5J100LA05 , 5J100QA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

高周波電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-335243 出願人：株式会社ダイヘン

審査官引用 (9件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-212027 出願人：東京エレクトロン株式会社
電力印加装置および電力印加方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-315650 出願人：三容真空工業株式会社
所望の負荷電力スペクトルに基づき制御される電源及び/又は安定器システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-518234 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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