特許
J-GLOBAL ID：200903054040911144
プラズマ発生装置、プラズマ発生方法、及びそれを用いたプラズマディスプレイ装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-295013
公開番号（公開出願番号）：特開2008-124028
出願日： 2007年11月14日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：
【課題】所定の電極配列を用いて、超高周波供給により発生する定在波を抑制し、膜厚の均一性に優れた薄膜を形成するためのプラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】本発明は、二つの一字形電極棒の一端が連結棒で相互連結され、その電極棒に電力を均一に供給するための給電点が前記連結棒に形成されたくし状の一つの電極部材が設けられる。前記電極部材は、複数個設けられ、一つの電極部材と隣接した他の電極部材は、給電点が互いに異なる方向に向かって行き違うように配列される。前記電極棒の他端は、電気的に開放構造または接地構造を有する。また、前記方向が異なって配列された二つの電極部材群に対して、時間的に分離して電力が前記給電点を通じて均一に供給されるようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
二つの一字形電極が、所定の長さを有する連結棒により一端が相互連結され、その連結棒の中心に電力を均一に供給するための給電点が形成される電極部材、がそれぞれ複数個並列に配置される第1の電極部材ユニットおよび第2の電極部材ユニットと、
前記電極部材に高周波電源を供給する給電回路部とを備え、
前記第1の電極部材ユニットおよび第2の電極部材ユニットに対して互いに反対方向から前記高周波電源が供給されるように各ユニットの給電点が対向して配列され、かつ、各ユニットの前記一字形電極が交互に配置され、全体として、互いに隣接した一字形電極が一定間隔離隔して配置されており、
第1の電極部材ユニットおよび第2の電極部材ユニットの各給電点には、オーバーラップしないように所定の時間差をもって前記高周波電源が供給されることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01J 11/02
, C23C 16/505
H05H1/46 M
, H01J11/02 B
, C23C16/505
4K030AA06
, 4K030BA30
, 4K030CA06
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030KA15
, 4K030LA16
, 4K030LA18
, 5C040GC19
, 5C040JA31
, 5C040MA23
