特許
J-GLOBAL ID：200903054057515315
化学的機械的テクスチャ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110318
公開番号（公開出願番号）：特開2000-301441
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：
【要約】【課題】磁気ディスク用のガラス基板表面に微細且つ均一なテクスチャ条痕を形成できる化学的機械的テクスチャ加工方法を提供することである。【解決手段】水酸化カリウム溶液、水酸化ナトリウム溶液、等の水酸基を有する溶液を含有した砥粒懸濁液Lをガラス基板Dの表面に供給しつつ、植毛テープTをガラス基板Dの表面に押し付け、走行させる工程、から構成される化学的機械的テクスチャ加工方法。
請求項（抜粋）：
水酸基を有する溶液を含有した砥粒懸濁液をガラス基板表面に供給しつつ、植毛テープを前記ガラス基板表面に押し付けて走行させる工程、から成る化学的機械的テクスチャ加工方法。
Fターム (3件)：
3C043BB06
, 3C043CC05
, 3C043CC07
