特許
J-GLOBAL ID:200903054097013177
磁性薄膜、その製造方法及び磁気センサーデバイス
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 徳廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-101829
公開番号(公開出願番号):特開平11-283829
出願日: 1998年03月31日
公開日(公表日): 1999年10月15日
要約:
【要約】【課題】 抵抗値が高いGMR等の機能を有する磁性薄膜を提供する。【解決手段】 基体上にポーラス状のSiもしくはSi化合物からなるポーラス層を有し、該ポーラス層中に磁性粒子が分散された構造を有する磁性薄膜。
請求項(抜粋):
基体上にポーラス状のSiもしくはSi化合物からなるポーラス層を有し、該ポーラス層中に磁性粒子が分散された構造を有することを特徴とする磁性薄膜。
IPC (3件):
H01F 10/00
, H01L 43/08
, H01L 43/12
FI (3件):
H01F 10/00
, H01L 43/08 Z
, H01L 43/12
引用特許:
審査官引用 (18件)
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磁気抵抗効果素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-011034
出願人:株式会社東芝
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磁気抵抗トランスデューサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-152321
出願人:トムソン-セーエスエフ
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特開平1-188695
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特開平1-188695
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特開昭59-175746
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特開昭63-066729
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光導波路の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-119607
出願人:日立電線株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-062950
出願人:富士通株式会社
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粒子分散型磁気抵抗体とその製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-265965
出願人:アルプス電気株式会社
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特開平1-152677
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特開平1-152677
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位置検出装置および磁気抵抗効果素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-008953
出願人:キヤノン株式会社
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磁気抵抗薄膜及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-239901
出願人:住友金属工業株式会社
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特開昭63-066729
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特開平1-188695
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特開昭59-175746
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特開平1-152677
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特開昭63-066729
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