トラップ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319364
公開番号（公開出願番号）：特開2001-132638
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】生成物のトラップ効率、あるいは付着した生成物の再生効率の向上を図って装置としての信頼性を向上させることができるようにしたトラップ装置を提供する。【解決手段】気密チャンバ10から真空ポンプ12により排気する排気経路14に配置され、排ガス中の生成物を付着させて除去するトラップ部36を有するトラップ装置において、トラップ部36の表面に親水化処理を施した。

請求項（抜粋）：

気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の生成物を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記トラップ部の表面に親水化処理を施したことを特徴とするトラップ装置。

Fターム (3件)：

3H076AA21 , 3H076BB24 , 3H076CC52

引用特許：

審査官引用 (12件)

真空排気システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-088752 出願人：株式会社荏原製作所
真空排気システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-088754 出願人：株式会社荏原製作所
トラップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-019682 出願人：株式会社荏原製作所

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