特許
J-GLOBAL ID：200903054617516096

光学素子の表面平滑化方法

発明者：
多幡 能徳

多幡 能徳 について

, 
平田 和也

平田 和也 について


出願人/特許権者：
シグマ光機株式会社

シグマ光機株式会社 について


代理人 (2件)： 林 信之 ,  安彦 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-133281
公開番号（公開出願番号）：特開2009-280432
出願日： 2008年05月21日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。【解決手段】光学素子2の表面を所定の溶質分子を含む液体表面へ向けて近接させつつ、光学素子2に対して溶質分子の吸収端波長以上の光を照射し、光学素子2の表面が液体表面へほぼ接触した時において、照射した光に応じて光学素子2表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて溶質分子を解離させてエッチングすることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光学素子の表面を所定の溶質分子を含む液体表面へ向けて近接させつつ、上記光学素子に対して上記溶質分子の吸収端波長以上の光を照射し、 上記光学素子の表面が上記液体表面へほぼ接触した時において、上記照射した光に応じて上記光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記溶質分子を解離させてエッチングすること を特徴とする光学素子の表面平滑化方法。
IPC (4件)：
C03C 15/00 ,  G02B 3/00 ,  H01L 21/027 ,  G02B 1/12
FI (4件)：
C03C15/00 Z ,  G02B3/00 Z ,  H01L21/30 515D ,  G02B1/12
Fターム (15件)：
2K009AA00 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009DD16 ,  2K009DD17 ,  4G059AA11 ,  4G059AB00 ,  4G059AC03 ,  4G059BB04 ,  4G059BB12 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB15 ,  5F046CB19 ,  5F046CB27
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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