特許

J-GLOBAL ID：200903054921364456

液浸露光装置

発明者： 西田 靖
出願人/特許権者： 国立大学法人宇都宮大学
代理人 (1件)： 吉村 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-073891
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235620
出願日： 2007年03月22日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：

【課題】投影レンズと基板(例えばウエハ)との間に供給された液体を基板とともに的確に移動させ、液体があるべき空間以外にその液体を滞留させることのない液浸露光装置を提供する。【解決手段】上記課題を解決する液浸露光装置100は、投影光学機構140とウエハ50との間に形成された液体保持空間への液体の給排を行う液体給排装置200を有し、その液体給排装置200は、液体保持空間に液体Lを供給する液体供給装置210と、液体保持空間に供給された液体Lを回収する液体回収装置220と、液体保持空間に供給された液体Lを保持するための撥水特性を有する液体保持部材230と、液体保持部材230に電圧を印加する電圧印加手段240と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液体を用いて被露光体に回路パターンを露光する液浸露光装置であって、 前記被露光体を保持する被露光体保持部材と、 光源から所定のパターンを有する遮光材に光を照射する照射手段と、 前記光にて照射されて形成される遮光材のパターンを前記被露光体に投影する投影手段と、 前記被露光体と前記投影手段との間に構成される空間に前記液体を供給する液体供給手段と、 前記空間に供給された液体を排出する液体排出手段と、 前記投影手段の周囲に設けられ、当該投影手段における被露光体に対する露光位置が変化する際に、前記空間内に供給された液体を当該露光位置に保持するための液体保持部材と、 を備え、 前記液体保持部材が撥水特性を有することを特徴とする液浸露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F046BA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• リソグラフィ機器及びデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-187276   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 液浸露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-401075   出願人：キヤノン株式会社
• 流体給排装置及びそれを有する露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-240362   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (4件)

• リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-123688   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-030038   出願人：コニンクリユケフィリップスエレクトロニクスエヌ.ブイ., エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-236500   出願人：株式会社ニコン
• リソグラフィ装置及び装置製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-328567   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ