薄板の垂直保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高橋昌久 , 長屋二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-040368
公開番号（公開出願番号）：特開2005-231761
出願日： 2004年02月17日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：

【課題】方形の薄板を垂直に保持する保持装置であって、アライメント作業によっても被測定物にゆがみを生じ難い保持装置を提供する。【解決手段】方形の薄板100の外周端面の複数部位を保持する保持部材22,23,34を有し、該保持部材22,23,34が、前記薄板100の端面と当接保持する平面を備え、該平面で前記端面を当接微圧接触して保持可能とし、前記微圧が前記方形の薄板100を垂直に保持するに十分な圧力であって、且つ前記薄板100に歪をかけることなく、被保持部位の端面を前記保持部材平面に沿って滑り移動させることが可能なほどに調節された圧力とする保持部材圧力調節手段を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

方形の薄板を垂直に支持する垂直保持装置において、前記方形の薄板の外周端面の複数部位を保持する保持部材を有し、該保持部材が、前記薄板の端面と当接保持する平面を備え、該平面で前記端面を当接微圧接触して保持可能とし、前記微圧が前記方形の薄板を垂直に保持するに十分な圧力であって、且つ前記薄板に歪をかけることなく、被保持部位の端面を前記保持部平面に沿って滑り移動させることが可能なほどに調節された圧力とする保持部材圧力調節手段を備えていることを特徴とする薄板の垂直保持装置。

IPC (5件)：

B65G49/06 , G01B21/00 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/68

FI (5件)：

B65G49/06 A , G01B21/00 L , G02F1/13 101 , G02F1/1333 500 , H01L21/68 N

Fターム (20件)：

2F069AA54 , 2F069CC06 , 2F069GG04 , 2F069MM02 , 2F069MM23 , 2F069MM38 , 2H088FA11 , 2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JB02 , 2H090JC02 , 2H090JC18 , 5F031CA05 , 5F031HA24 , 5F031HA45 , 5F031LA08 , 5F031LA12 , 5F031MA33

引用特許：

出願人引用 (1件)

ガラス基板の平面度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-326179 出願人：三菱重工業株式会社

審査官引用 (7件)

基板支持装置及びこの基板支持装置に基板を着脱する基板着脱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-360080 出願人：アネルバ株式会社
搬送装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-212028 出願人：株式会社ニコン
特許第115840号

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