電子放出源及びその製造方法、並びにその電子放出源を用いたディスプレイ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171987
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006525
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】低電圧駆動、高効率、均一な電流量、電極間の短絡防止、長寿命、製造歩留向上などを実現できる電子放出源、その製造方法、ならびに同電子放出源を用いたディスプレイ装置を提供する。【解決手段】下部基板11の表面上に帯状の複数本のカソード電極ライン13を形成し、その上に絶縁層14を成膜し、更にその上にカソード電極ラインと交差して帯状に複数本のゲート電極ライン15が形成されており、両電極ラインの交差領域にゲート電極ライン、絶縁層を貫通してカソード電極ラインの表面に達する略円形又はスリット形状の微細孔17を形成し、微細孔内にカソード電極ラインの面上に電子放出部16として縦断面が台形状の突出部161を設け、その上面に微小な凹凸を形成し、その上に炭素薄膜16aを形成し、その表面を絶縁層の表面よりカソード電極ライン側に位置させる。

請求項（抜粋）：

基体上に、カソード電極ラインと、絶縁層と、前記カソード電極ラインに交差するゲート電極ラインとがこの順に形成されていて、前記ゲート電極ラインと前記カソード電極ラインとが交差する領域において、前記ゲート電極ライン及び前記絶縁層を通して前記カソード電極ラインに達する微細孔を有する電子放出源であって、前記微細孔の底部に縦断面が台形状の突出部を電子放出部として有し、この突出部の表面が微小な凹凸を有し、前記微小な凹凸が電子放出物質からなる膜で被覆され、前記膜の表面は、前記絶縁層の表面より前記カソード電極ライン側に位置することを特徴とする電子放出源。

IPC (4件)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

Fターム (11件)：

5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE02 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH08 , 5C036EH26

引用特許：

審査官引用 (11件)

電界放射型電子源の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-078538 出願人：松下電器産業株式会社
電子発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-019998 出願人：株式会社リコー
マイクロポイント放出陰極電子源及びこの電子源を使用する電界放出励起陰極線ルミネセンス表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-035712 出願人：コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク

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