特許
J-GLOBAL ID：200903056826521261

紫外光光源ユニット及びこれを用いた干渉計並びに干渉計の調整方法

発明者：
横井 大輔

横井 大輔 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300083
公開番号（公開出願番号）：特開2006-112903
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】収差の少ない紫外光を干渉計等の光学測定機器に導入すること。【解決手段】レーザ光源20から出射された紫外レーザ光を集光レンズ21により紫外レーザ光のエアリーディスクの直径よりも小さい直径を有するピンホール22の配置位置に集光し、このピンホール22を通過させることによりほぼ無収差の球面波を有する紫外レーザ光を得し、この紫外レーザ光を干渉計1に導入する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
紫外光を出力する光源と、 前記光源から出力された前記紫外光を集光する集光レンズと、 前記集光レンズの集光位置に配置されたピンホールと、 を具備し、無収差の前記紫外光を出力することを特徴とする紫外光光源ユニット。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01M11/00 L ,  G01B9/02
Fターム (14件)：
2F064AA09 ,  2F064AA15 ,  2F064BB03 ,  2F064EE08 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG38 ,  2F064GG59 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064KK01 ,  2G086FF01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (11件)
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