金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322450
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144046
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】下地のバリア層及び絶縁膜層との高い研磨速度比を発現し、高い面内均一性及び高平坦化を可能とし、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ-ン形成を可能とする金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、水溶性ポリマ及び水を含有する研磨液であり、水溶性ポリマがバリア層の研磨速度を低下させる効果を有する金属用研磨液を使用する。

請求項（抜粋）：

金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、水及び配線金属バリア層の研磨速度を低下させる効果を有する水溶性ポリマを含有する金属用研磨液。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 , H01L 21/304

FI (3件)：

H01L 21/304 622 C , H01L 21/304 622 D , H01L 21/304 622 X

引用特許：

審査官引用 (8件)

研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-276937 出願人：株式会社日立製作所
水溶性ラップ液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-021927 出願人：三洋化成工業株式会社
研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-157385 出願人：株式会社東芝

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