特許
J-GLOBAL ID：200903057759273890

処理液塗布装置

発明者：
名古屋 崇

名古屋 崇 について


出願人/特許権者：
日本ビクター株式会社

日本ビクター株式会社 について


代理人 (2件)： 三好 秀和 ,  高橋 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-187867
公開番号（公開出願番号）：特開2008-016708
出願日： 2006年07月07日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】ノズルから吐出させた洗浄液又は現像液による処理液を、水平面内で回転する基板上に接液跡や液進路跡のスジや現像ムラが生じることなく塗布する。【解決手段】ノズル17から吐出させた処理液18を、水平面内で回転する基板K上に塗布する処理液塗布装置10Aにおいて、処理液18として洗浄液又は現像液をノズル17から吐出させながらノズル17を基板Kの外周部から中心部に向かって移動させるノズル移動手段14〜16と、ノズル17の移動速度が基板Kの外周部から中心部に向かって直線的に増加するようにノズル移動手段14〜16を制御する制御手段19と、を備えたことを特徴とする処理液塗布装置10Aを提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ノズルから吐出させた処理液を、水平面内で回転する基板上に塗布する処理液塗布装置において、 前記処理液として洗浄液又は現像液を前記ノズルから吐出させながら前記ノズルを前記基板の外周部から中心部に向かって移動させるノズル移動手段と、 前記ノズルの移動速度が前記基板の外周部から中心部に向かって直線的に増加するように前記ノズル移動手段を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする処理液塗布装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/304
FI (5件)：
H01L21/30 569A ,  G03F7/16 502 ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 643C ,  H01L21/304 648G
Fターム (5件)：
2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  5F046LA03 ,  5F046LA04
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • レジストの塗布方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-228193   出願人：三洋電機株式会社
  • 処理液塗布方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-333157   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (13件)
  • 特開平2-191570
  • 特開昭61-015773
  • 特開昭62-183885
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