周期加熱放射測温法熱物性測定装置およびそれを用いた熱物性測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-314221
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139163
出願日： 2007年12月05日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：

【課題】レンズ機能付光ファイバを用いて装置の低価格を図り、各種の試料に適用することができ、特に試料厚さの変化に対して充分に対応することが出来るようにする。【解決手段】所定強度の加熱用レーザ光を照射し、レンズ機能付きの光ファイバを備えた照射手段と、加熱用レーザ光の試料の面上の照射軸を一定にしてスポットサイズを任意に調整可能として、前記光ファイバを試料から上下動させ、試料の面を加熱する単位面積当りの加熱量を制御するようにした光ファイバ位置調整手段と、加熱量が制御されたレーザ光の照射によって放射された赤外線を検知する赤外線検出器とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料台に保持された試料の面に加熱用のレーザ光を周期的に照射し、試料の面から放射される赤外線を検知することで試料の周期的な温度変化から熱拡散率の測定を行う周期加熱放射測温法熱物性測定装置において、所定強度の加熱用レーザ光を照射し、レンズ機能付きの光ファイバを備えた照射手段と、加熱用レーザ光の試料の面上の照射軸を一定にして加熱スポットサイズを任意に調整可能として、前記光ファイバを試料から上下動させ、試料の面を加熱する単位面積当りの加熱量を制御するようにした光ファイバ位置調整手段と、前記加熱量が制御されたレーザ光の照射によって試料より放射された赤外線を検知する赤外線検出器とを備えることを特徴とする周期加熱放射測温法熱物性測定装置。

IPC (1件)：

G01N 25/18

FI (1件)：

G01N25/18 H

Fターム (9件)：

2G040AB09 , 2G040BA25 , 2G040CA01 , 2G040CA23 , 2G040DA05 , 2G040DA12 , 2G040DA13 , 2G040EA06 , 2G040EC04

引用特許：

出願人引用 (9件)

熱物性測定装置及び熱物性測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-106655 出願人：アルバック理工株式会社, 名古屋大学長
ナノ薄膜熱物性測定方法および測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-254590 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社ベテル
微小領域熱物性解析方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-323911 出願人：株式会社リコー

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審査官引用 (4件)

特開平3-189547
光熱反射型試料分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-167255 出願人：学校法人大阪産業大学
微小領域熱物性測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-290555 出願人：工業技術院長, 株式会社ベテル, 竹歳尚之, 馬場哲也

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