特許
J-GLOBAL ID：200903057833693597

真空内搬送機構およびそれを備えた真空装置

発明者：
二川 正康

二川 正康 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279815
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089089
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：
【要約】【課題】 真空装置を大型化せずに、真空装置内で大型の板状被搬送物を使用することができる真空内搬送機構およびそれを備えた真空装置を提供する。【解決手段】 真空内搬送機構10は、基板を把持するハンド部11を有する本体と、ハンド部11を搬送方向にへ移動させるための第1の移動機構と、その搬送方向と直交する第2の方向へハンド部11を移動させるためのガイド機構9とを備えている。これにより、上記真空内搬送機構10は、真空装置の機械的な誤差を機構的に吸収可能となる。
請求項（抜粋）：
真空装置内で板状被搬送物を搬送する真空内搬送機構であって、上記板状被搬送物を把持するハンド部を有する本体と、上記ハンド部を所望の第1の方向へ移動させるための第1の移動機構と、上記第1の方向と直交する第2の方向へ上記板状被搬送物を移動させるための第2の移動機構とを備えたことを特徴とする真空内搬送機構。
IPC (6件)：
B25J 17/02 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
B25J 17/02 F ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A
Fターム (19件)：
3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007AS31 ,  3C007BS15 ,  3C007BT13 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA43 ,  5F031LA13 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA06
引用特許：
審査官引用 (9件)
  • 特開昭59-209793
  • 搬送用ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-107853   出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング, 高橋研, 日立造船株式会社
  • 特開昭59-209793
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