特許
J-GLOBAL ID：200903059153966230
2端子スイッチング素子を有する配線基板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171499
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020345
出願日： 1996年07月01日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 信号配線の下層配線がエッチング処理時に損傷することを防止する。【解決手段】 液晶表示装置の液晶パネルの基板部材67の各信号配線74には、行列配置された画素電極73のうちの各列の電極73が、MIM素子75を介してそれぞれ接続される。部材67の開口率は、TFTを用いた基板部材よりも大きく、反射型の液晶表示装置においてより明るい表示を行うことができる。信号配線74は、アルミニウムを含む混合材料から成る下層配線79の上にタンタルから成る上層配線78が重畳されて配線79を覆う積層構造を有する。該混合材料の比抵抗値はタンタルの比抵抗値よりも小さい。ゆえに、信号配線74全体の配線抵抗値は、タンタルだけで形成されたときよりも低減される。さらに、エレクトロマイグレーションに起因する配線の形状変化を防止するので、製造工程時の下層配線79の損傷が防止される。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に配置される複数の電極と、該基板上に配置され、各電極に供給されるべき電気信号が与えられる複数の信号配線と、該信号配線に与えられた電気信号を、各電極に個別的に供給/遮断する複数の2端子スイッチング素子とを備える2端子スイッチング素子を有する配線基板であって、各信号配線は、予め定める幅を有する第1配線と、第1配線よりも大きな幅を有し、該第1配線の上に重畳して形成される第2配線とを有し、第1配線は、アルミニウムを含み第2配線を構成する導電体材料の比抵抗値よりも比抵抗値が小さい導電体材料で構成されることを特徴とする2端子スイッチング素子を有する配線基板。
IPC (2件)：
G02F 1/136 510
, G09F 9/30 343
G02F 1/136 510
, G09F 9/30 343 Z
