マイクロマシン、マイクロ構造、ナノマシンおよびナノ構造のための方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-547871
公開番号（公開出願番号）：特表2005-510698
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

性能の向上を提供するようなマイクロやナノのマシン向けのパーツおよび構造(102)、並びに特殊材料からなるナノおよびマイクロ層を用いたマクロ構造の作成について記載している。

請求項（抜粋）：

走査プローブ型顕微鏡(SPM)での使用に適したカンチレバー・アセンブリであって、ホルダーと、前記ホルダーから延びているレバーとを備え、そのレバーは第1の主表面を有するとともに前記ホルダーから遠い部分に端部を有しており、その端部は前記第1の主表面に窪んだ領域を有するカンチレバー・アセンブリ。

IPC (3件)：

G01N13/16 , B81B3/00 , B81B5/00

FI (3件)：

G01N13/16 C , B81B3/00 , B81B5/00

引用特許：

審査官引用 (9件)

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