特許
J-GLOBAL ID：200903012653923914
AFMカンチレバー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084479
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262041
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 各種用途に要求されるレバー特性と探針特性とを共に満足させることの可能なAFMカンチレバーとその製造方法を提供する。【構成】 第1の層101 と第2の層103 とを重ね合わせて構成した片持ち梁105と、該片持ち梁105 の先端に、第1の層101 と第2の層103 とで基部102aが挟み込まれ保持された探針部102 と、片持ち梁105 の基部に設けられた支持部104 とでAFMカンチレバー100 を構成する。片持ち梁及び探針部の構成材料を適宜選択することにより、各種用途のAFMカンチレバーが得られる。
請求項（抜粋）：
片持ち梁の支持部と、該支持部より延びるように配置された片持ち梁と、該片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けた探針部とを備えたAFMカンチレバーにおいて、前記片持ち梁は第1の層と第2の層の重ね合わせ2層部を備え、前記探針部の基部を、前記片持ち梁の第1の層と第2の層の重ね合わせ2層部で挟み込んで、前記探針部を片持ち梁に結合していることを特徴とするAFMカンチレバー。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (5件)
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