特許
J-GLOBAL ID：200903061302360752

走査型プローブ顕微鏡およびその探針評価方法

発明者：
森本 高史

森本 高史 について

, 
品木 徹

品木 徹 について

, 
永野 好幸

永野 好幸 について


出願人/特許権者：
日立建機ファインテック株式会社

日立建機ファインテック株式会社 について


代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-128139
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308313
出願日： 2005年04月26日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】 簡単な作業を行うことで探針の先端形状を評価でき、定量的な評価を正確に行うことができる走査型プローブ顕微鏡およびその探針評価方法を提供する。【解決手段】 この走査型プローブ顕微鏡の探針評価方法は、内側寸法がそれぞれ異なる複数の溝W1〜W5が並ぶように形成された探針評価領域を備える基準試料11について探針で複数の溝を順次に測定する測定ステップS12と、測定ステップで得られた深さ測定データ(測定プロファイル13)を、探針評価領域に係る既知の深さデータD0と比較する比較ステップS14と、比較ステップによる比較結果に基づき測定に使用した探針に係る測定使用可能条件を判定する判定ステップS15とから構成される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
内側寸法がそれぞれ異なる複数の開口部が並ぶように形成された探針評価領域を備える基準試料について探針で前記複数の開口部を順次に測定する測定ステップと、 前記測定ステップで得られた深さ測定データを、前記探針評価領域に係る既知の深さデータと比較する比較ステップと、 前記比較ステップによる比較結果に基づき測定に使用した前記探針に係る測定使用可能条件を判定する判定ステップと、 から成ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針評価方法。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/08
FI (3件)：
G01N13/10 A ,  G01N13/16 C ,  G12B1/00 601D
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • SPM用探針の評価方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-265952   出願人：株式会社アドバンテスト
  • 走査型プローブ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-124248   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
審査官引用 (7件)
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