薄膜デバイス及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：天野広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-217272
公開番号（公開出願番号）：特開2008-042088
出願日： 2006年08月09日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】酸化物半導体膜を用いた従来の薄膜トランジスタでは、半導体膜や半導体膜と絶縁膜との界面における酸素空孔欠陥の制御ができておらず、薄膜トランジスタの電気特性の再現性・信頼性が低かった。【解決手段】薄膜トランジスタ100の構造に応じて、酸化物半導体膜14と絶縁膜12,18の成膜の間に、大気に曝すことなく連続して酸化性処理(プラズマ処理など)131,132を施す。酸化物半導体膜14や絶縁膜12,18、あるいはこれらの界面における酸素空孔起因の欠陥(過剰電子ドナーを生成する欠陥)を制御できる。欠陥が不要な箇所では積極的に抑制することにより、ドレイン電流の良好なオンオフ比を有し且つ再現性・信頼性に優れた薄膜トランジスタ100の特性を実現する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

第1絶縁体と酸化物半導体膜と第2絶縁体とをこの順に有する積層構造を備え、前記酸化物半導体膜により活性層が構成された薄膜デバイスにおいて、前記酸化物半導体膜において、前記第1絶縁体との界面に位置する部分である第1界面層と、前記第2絶縁体との界面に位置する部分である第2界面層と、のうちの少なくとも何れか一方の酸素空孔密度が、前記酸化物半導体膜において前記第1及び第2界面層以外の部分であるバルク層の酸素空孔密度よりも小さいことを特徴とする薄膜デバイス。

IPC (3件)：

H01L 29/786 , H01L 21/20 , H01L 21/336

FI (4件)：

H01L29/78 618B , H01L29/78 618G , H01L21/20 , H01L29/78 627B

Fターム (58件)：

5F110AA05 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC01 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD14 , 5F110DD25 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF36 , 5F110GG04 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG19 , 5F110GG25 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG36 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG58 , 5F110HK04 , 5F110HK42 , 5F110HL03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN34 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110QQ09 , 5F152AA12 , 5F152BB03 , 5F152CC02 , 5F152CC20 , 5F152CD12 , 5F152CD14 , 5F152CD15 , 5F152CD17 , 5F152CE01 , 5F152CE12 , 5F152CE16 , 5F152CE24 , 5F152FF03 , 5F152FF20 , 5F152FF21 , 5F152FF28

引用特許：

出願人引用 (5件)

半導体装置およびその製造方法ならびに電子デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-079273 出願人：シャープ株式会社, 大野英男, 川崎雅司
薄膜トランジスタ、及びそれを備えた表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-379779 出願人：富士ゼロックス株式会社
薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-274333 出願人：川崎雅司, 大野英男, シャープ株式会社

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審査官引用 (5件)

非晶質酸化物、及び電界効果型トランジスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-325366 出願人：キヤノン株式会社, 国立大学法人東京工業大学
半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-018243 出願人：三洋電機株式会社
電界効果型トランジスタの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-325369 出願人：キヤノン株式会社, 国立大学法人東京工業大学

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