特許
J-GLOBAL ID：200903063339178213
研磨パッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-146044
公開番号（公開出願番号）：特開2005-324302
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】研磨特性の高い無発泡の研磨パッドを提供する。【解決手段】固体高分子、光反応性化合物および光重合開始剤を含有する研磨パッド用感光性樹脂組成物から形成され、かつ水に対する接触角70度以下を有する。接触角の下限値は好ましくは0度であり、研磨層表面でのスラリーの良好な保持性に加えて、研磨層の親水性が大きくなって研磨中の研磨層の物性変化が大きくなる可能性を考慮して、より好ましくは30度である。研磨パッドの水に対する接触角を上記範囲内とするために、研磨パッド用感光性樹脂組成物中の固体高分子の主鎖または側鎖の少なくとも1部に親水性を有する基を含有することが好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固体高分子、光反応性化合物および光重合開始剤を含有する研磨パッド用感光性樹脂組成物から形成され、かつ水に対する接触角70度以下を有することを特徴とする研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B37/00
, B24D13/14
, H01L21/304
B24B37/00 C
, B24D13/14 B
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C063AA06
, 3C063BA24
, 3C063BE06
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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