特許
J-GLOBAL ID：200903063940952015
電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-202562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035361
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 カーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを有するカーボン材料を用いて、低電圧駆動で高効率な電子放出を可能にすること。【解決手段】 絶縁基板101上に、カソード導体102、抵抗層201、カーボンナノチューブを含むカーボン材料によって形成されたエミッタ301を積層した後、ドライエッチングによってエミッタ301の上部表面をエッチング処理する。その後、リブ状ゲート電極403を形成することにより電子放出源が完成する。
請求項（抜粋）：
カソード導体とゲート電極間にエミッタを配設し、前記カソード導体とゲート電極間に電圧を印加することにより前記エミッタから電子を放出する電子放出源の製造方法において、絶縁基板にカソード導体を被着する工程と、前記カソード導体にカーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを含むペースト材料を被着してエミッタを形成する工程と、前記エミッタの表面をドライエッチングによりエッチング処理する工程と、前記エミッタから離間する位置にゲート電極を形成する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 1/304
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
5C036EE01
, 5C036EE19
, 5C036EF01
, 5C036EF05
, 5C036EF06
, 5C036EF08
, 5C036EG02
, 5C036EG12
, 5C036EH11
