特許
J-GLOBAL ID：200903064623040333
赤外検査装置及び赤外検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 山田 卓二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-379580
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184177
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 赤外線の照射により被検体の異物部分・異常部分を検出する赤外検査装置において、適切に微小な異物部分・異常部分を検出できるようにする。【解決手段】 本発明に係る赤外検査装置は、被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、
被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする赤外検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051AC11
, 2G051AC15
, 2G051BA06
, 2G051CA04
, 2G051CD02
, 2G051DA20
, 4M106AA01
, 4M106BA08
, 4M106CA38
, 4M106DB04
, 4M106DB07
, 4M106DJ04
, 4M106DJ11
, 4M106DJ23
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (13件)
全件表示
前のページに戻る
