特許
J-GLOBAL ID:200903064869107445
基板外観検査用の検査基準データの設定方法およびこの方法を用いた基板外観検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
鈴木 由充
, 小石川 由紀乃
, 新田 研太
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-206098
公開番号(公開出願番号):特開2008-032525
出願日: 2006年07月28日
公開日(公表日): 2008年02月14日
要約:
【課題】検査基準データの設定作業にかかるユーザーの負担を大幅に削減する。【解決手段】検査基準データの設定対象の部品毎に、良品モデルの画像から切り出した画像の表示領域61や、操作受付領域63を含む設定画面を表示し、選択操作を受け付ける。操作受付領域63で有効化された入力ボックス64の中には、設定対象の部品やその周囲の外観に関する情報を入力するためのボックスが含まれている。この外観情報の入力ボックス64に対応する呼出ボタン65をクリックすると、検査基準データベースに登録されている外観情報に基づく選択肢によるプルダウンメニューが示される。ユーザーが選択肢の選択を完了すると、その選択された外観情報に適合する検査基準データが検査基準データベースから読み出される。【選択図】図9
請求項(抜粋):
基板の撮像により生成された画像を用いて当該基板の良否を検査する検査装置に、検査基準データを設定するための方法であって、
検査対象の基板の良品モデルを撮像し、
外部から入力された情報を用いて設定対象の部品の位置を特定するステップ;特定された位置に基づき検査対象領域を設定するステップ;部品の種毎に当該部品またはその近傍の外観情報とその外観情報が表す外観に適合する検査基準データとの組み合わせが複数組登録されたデータベースから、設定対象の部品に設定可能な検査基準データに対応する外観情報を読み出すステップ;前記良品モデルの撮像により生成された設定対象の部品の画像を表示するとともに、データベースから読み出された外観情報を表す複数の選択肢を表示して選択操作を受け付けるステップ;選択された選択肢に対応する検査基準データを前記データベースから読み出すステップ;データベースから読み出された検査基準データと前記検査対象領域の設定に要する情報とを統合した検査基準データを作成するステップ;の各ステップを、設定対象の部品毎に実行し、各部品の前記統合された検査基準データを前記検査装置のメモリに登録する、
ことを特徴とする基板外観検査用の検査基準データの設定方法。
IPC (4件):
G01N 21/956
, G01B 11/24
, H05K 3/34
, H05K 3/00
FI (4件):
G01N21/956 B
, G01B11/24 K
, H05K3/34 512B
, H05K3/00 Q
Fターム (30件):
2F065AA22
, 2F065AA51
, 2F065AA58
, 2F065AA61
, 2F065CC26
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065GG13
, 2F065GG17
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065NN02
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
, 2F065QQ36
, 2F065QQ38
, 2F065RR08
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051AC21
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA17
, 2G051FA01
, 5E319CC22
, 5E319CD53
, 5E319GG15
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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