特許
J-GLOBAL ID：200903066595367766
光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206990
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021741
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】量産性が良好な光導波路の製造方法を得る。また、長尺のフィルム上に導波部を形成する光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】送り出しロール1に巻回された長尺の基材90を送り出し、第1のポリマ前駆体塗布装置2により基材90に第1のポリマ前駆体2aを塗布した後、表面に凹凸が形成されたロール状金型3に接触させられ、基材90上の前記第1のポリマ前駆体2aに導波路形状が連続的に転写されて下部クラッド層を形成し、導波路形状部に第2のポリマ前駆体塗布装置5により第2のポリマ前駆体が塗布されてコア層を形成し、さらに第3のポリマ前駆体塗布装置7により第3のポリマ前駆体7aが塗布されて上部クラッド層が形成され、光導波路9を得る。
請求項（抜粋）：
長尺の基材上に光導波路を形成する光導波路の製造方法において、前記長尺の基材を所定の方向に送り出すステップと、前記長尺の基材の表面に第1のポリマ前駆体を塗布するステップと、前記長尺の基材の表面にコアの形状に応じた溝を形成するステップと、前記長尺の基材の表面に形成された前記溝に第2のポリマ前駆体を充填するステップと、前記長尺の基材の表面の前記溝内の前記第2のポリマ前駆体を硬化してコアにするステップと、前記長尺の基材および前記コアの表面に第3のポリマ前駆体を塗布するステップと、前記第3のポリマ前駆体を硬化して上部クラッドとするステップを含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
Fターム (6件)：
2H047KA04
, 2H047LA12
, 2H047PA02
, 2H047PA26
, 2H047PA28
, 2H047QA05
