特許
J-GLOBAL ID:200903066712982396

基板処理ユニット、基板載置状態検出方法および基板処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福島 祥人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-142105
公開番号(公開出願番号):特開2005-117007
出願日: 2004年05月12日
公開日(公表日): 2005年04月28日
要約:
【課題】 簡単な構成で、基板の位置ずれの検出が可能な基板処理ユニット、基板載置状態検出方法および基板処理装置を提供する。【解決手段】 熱処理ユニット1は基板載置検出装置20に接続されており、基板載置検出装置20はベークユニットコントローラ30と接続されている。熱処理ユニット1は、温調プレート2および昇降装置8を含む。これら、温調プレート2および昇降装置8はベークユニットコントローラ30と接続されている。温調プレート2および昇降装置8の動作はベークユニットコントローラ30により制御される。温調プレート2の複数のピン導入孔2Hのうち、少なくとも1つの下方には圧力測定管5が設けられている。圧力測定管5は微差圧センサPSに接続されている。微差圧センサPSは、基板Wと温調プレート2の上面により囲まれる空間から圧力測定管5を通じて排気される気流の圧力を検出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板に所定の処理を行う基板処理ユニットであって、 基板が載置される基板載置台と、 基板を前記基板載置台上で上昇および下降させる昇降手段と、 前記昇降手段による基板の上昇時または下降時における基板と前記基板載置台との間の空間における気流の変化を検出する検出手段と、 前記検出手段により検出される気流の変化に基づいて前記基板載置台における基板の載置状態を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板処理ユニット。
IPC (1件):
H01L21/68
FI (1件):
H01L21/68 F
Fターム (12件):
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA39 ,  5F031JA08 ,  5F031JA10 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30 ,  5F031JA47 ,  5F031JA51 ,  5F031MA30
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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