特許
J-GLOBAL ID：200903067542645892
半導体加速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-292782
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125704
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】半導体センサ素子の内部空間内に重錘の少なくとも一部を配置して重錘の重量を増大させても、半導体センサ素子が破損することのない半導体加速度センサを提供する。【解決手段】切頭角錐形の空間の外周面に倣うように、実質的に同形状の4つの台形状の傾斜面13...を環状に組み合わせて支持部9の内周面を構成する。重錘3は、重錘3が可撓部11側に最大限変位したときに支持部9の内周面の傾斜面13...と当接する線状の当接部3dを有するように構成する。当接部3dは重錘固定部7が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有している。支持部9の傾斜面13...と重錘3の当接部3dとにより重錘3が可撓部11側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
中心部に重錘固定部が位置し、外周部に筒状の支持部が位置し、前記重錘固定部と前記支持部との間に可撓性を有する可撓部を備えた半導体センサ本体と、
前記可撓部に形成された拡散抵抗により構成された加速度センサ素子と、
前記重錘固定部の中心を通り前記可撓部が延びる方向と直交する方向に延びる中心線上に中心が位置するように前記重錘固定部に固定された重錘とを具備し、
前記支持部の内周面が、切頭角錐形の内部空間の外周面に倣うように、実質的に同形状の4つの台形状の傾斜面が環状に組み合わされて構成されている半導体加速度センサであって、
前記重錘は前記重錘が前記可撓部側に最大限変位したときに前記内周面を構成する4つの傾斜面と当接する線状の当接部を有しており、
前記当接部は前記重錘固定部が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有しており、
前記支持部の内周面と前記当接部とにより前記重錘が前記可撓部側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造が構成されていることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/12 D
, H01L29/84 A
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA27
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA12
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA07
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (11件)
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