特許
J-GLOBAL ID：200903067604845150
反射防止コーティング用組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129056
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291228
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 フォトレジスト膜上に良質の干渉防止膜を形成するための反射防止コーティング用組成物を提供する。【解決手段】 パーフロロアルキルスルフォン酸、有機アミン、ポリビニルピロリドン、水溶性アルキルシロキサン重合体及び水を含有する反射防止コーティング用組成物。この組成物の使用によれば、難溶化層形成が低減され、表面にパーティクルや結晶状の析出を生じさせず、及び屈折率の低い干渉防止膜が形成できる。
請求項（抜粋）：
パーフロロアルキルスルフォン酸、有機アミン、ポリビニルピロリドン、水溶性アルキルシロキサン重合体及び水を含有することを特徴とする反射防止コーティング用組成物。
IPC (6件)：
C09D 5/00 PPQ
, C09D139/06 PGL
, C09D183/04 PMT
, C09D183/06
, G03F 7/11 503
, H01L 21/027
C09D 5/00 PPQ
, C09D139/06 PGL
, C09D183/04 PMT
, C09D183/06
, G03F 7/11 503
, H01L 21/30 574
