特許
J-GLOBAL ID：200903068263184091
酸に不安定な保護基を有するフェノール樹脂
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006982
公開番号（公開出願番号）：特開平8-253528
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 高い熱安定性を有し、高い加工安定性および流れ抵抗を有するレジスト組成物のバインダーとして適しているフェノール樹脂。【解決手段】 フェノール樹脂は、フェノールのヒドロキシル基の10〜90%が、式I〔式中、R1およびR2は、C1〜C6アルキル、C3〜C6シクロアルキル、または-(CH2)n-アリール、またはR1およびR2はそれらの基が結合している酸素および炭素原子と、環員としてさらにヘテロ原子またはヘテロ基を含むことのできる5員〜8員環を形成し、R3は、水素、C1〜C6アルキル、C3〜C6シクロアルキルであるか、または-(CH2)n-アリールであるか、またはR2およびR3はこれらの基が結合している炭素原子と、環員としてさらにヘテロ基、例えば-O-、-S-、-SO2-、を含むことのできる〕の保護基によって置換されているが、Mw/Mnは1.03〜1.80の範囲のものである。
請求項（抜粋）：
フェノール性ヒドロキシル基の10〜90%が、式I【化1】〔式中、R1およびR2は、それぞれ互いに独立してC1〜C6アルキル、未置換または一つもしくはそれ以上のC1〜C4アルキル基によって置換されたC3〜C6シクロアルキルであるか、または-(CH2)n-アリールであるか、またはR1およびR2はそれらの基が結合している酸素および炭素原子と一緒に、環員としてさらにヘテロ原子またはヘテロ基、例えば-O-、-S-、-SO2-または-NR8-(R8は、C1〜C6アルキル、アリールまたはC6〜C16アラルキルである)を含むことのできる5員〜8員環を形成し、R3は、水素、C1〜C6アルキル、未置換または一つもしくはそれ以上のC1〜C4アルキル基によって置換されたC3〜C6シクロアルキルであるか、または-(CH2)n-アリールであるか、またはR2およびR3はこれらの基が結合している炭素原子と一緒に、環員としてさらにヘテロ原子またはヘテロ基、例えば-O-、-S-、-SO2-または-NR8-(R8は、C1〜C6アルキル、アリールまたはC6〜C16アラルキルである)を含むことのできる5員〜8員環を形成し、nは0、1、2または3であり、そしてアリールは、一つまたはそれ以上のC1〜C4アルキル、C1〜C4アルコキシ、ニトロまたはシアノ基またはハロゲン原子によって置換されたナフチルまたはフェニルである〕の保護基によって置換されているが、但し重量平均分子量対数平均分子量の比率Mw/Mnは1.03〜1.80の範囲である、フェノール樹脂。
IPC (3件)：
C08F 8/00 MFZ
, G03F 7/039 501
, H05K 3/06
C08F 8/00 MFZ
, G03F 7/039 501
, H05K 3/06 H
