可動エレメント装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：真田有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-317267
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083937
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】 MEMS等の可動エレメント装置において、配線構成を簡素化しながら、高精度に静電容量を検出する。【解決手段】可動エレメント3aの基準姿勢に対する姿勢変位を、該可動エレメント3aと電極4との間の静電容量11で検出するために、非反転増幅器10の逆相入力を電極4に接続し、正相入力より駆動信号と検出信号を入力する。これにより、非反転増幅器10により可動エレメント3aを駆動するとともに、非反転増幅器10の出力から静電容量11を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

接地された可動エレメントと、静電気力により該可動エレメントを動作させる電極とを備えた可動エレメント部を複数備えた可動エレメント装置。

IPC (4件)：

G01B7/30 , B81B3/00 , G01D5/24 , G02B26/08

FI (4件)：

G01B7/30 D , B81B3/00 , G02B26/08 E , G01D5/24 B

Fターム (18件)：

2F063AA37 , 2F063BA25 , 2F063BD16 , 2F063CA09 , 2F063DA05 , 2F063DC08 , 2F063DD05 , 2F063HA05 , 2F077AA25 , 2F077AA43 , 2F077HH04 , 2F077HH13 , 2F077VV02 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2936286号公報(12〜14ページ,図8,図10)
容量式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-076549 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (8件)

揺動角度検出方法および装置並びに光ディスク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-103894 出願人：富士通株式会社
ミラー駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-083576 出願人：松下電器産業株式会社
超小形モノリシック可変電気デバイスおよびそれを含む装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-205918 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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