特許
J-GLOBAL ID:200903068404365516

ネガ型青紫色レーザー感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-277777
公開番号(公開出願番号):特開2005-128508
出願日: 2004年09月24日
公開日(公表日): 2005年05月19日
要約:
【課題】青紫色領域のレーザー光に対して高感度であり、又、黄色灯下でのセーフライト性に優れると共に、画像の解像性及び矩形性に優れ、直接描画に好適に用いられるネガ型青紫色レーザー感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法を提供する。【解決手段】青紫色レーザー光による露光によって残膜率が90%以上となる最小露光量が40mJ/cm2 以下であって、青紫色レーザー光による露光量の対数〔logE(mJ/cm2 )〕に対して露光部の残膜率〔t(%)〕をプロットした残膜率-露光量曲線における残膜率の15%の点と80%の点とを結ぶ直線、t=γlogE+δ、のγ値が4.0×102 以上である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
青紫色レーザー光による露光によって残膜率が90%以上となる最小露光量が40mJ/cm2 以下であって、青紫色レーザー光による露光量の対数〔logE(mJ/cm2 )〕に対して露光部の残膜率〔t(%)〕をプロットした残膜率-露光量曲線における残膜率の15%の点と80%の点とを結ぶ下記式(1)の直線のγ値が4.0×102 以上であることを特徴とするネガ型青紫色レーザー感光性組成物。 t=γlogE+δ (1)
IPC (6件):
G03F7/26 ,  C08F2/44 ,  C08F20/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  H01L21/027
FI (8件):
G03F7/26 501 ,  C08F2/44 C ,  C08F20/18 ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/028 ,  H01L21/30 502R
Fターム (37件):
2H025AB11 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC01 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17 ,  4J011PA69 ,  4J011QA12 ,  4J011SA78 ,  4J100AL66P ,  4J100BA08P ,  4J100BC45P ,  4J100JA37
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (16件)
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引用文献:
審査官引用 (6件)
  • フォトポリマー・テクノロジー, 19881230, 初版, 第253-254頁,第256-257頁
  • フォトポリマー・テクノロジー, 19881230, 初版, 第253-254頁,第256-257頁
  • フォトポリマーハンドブック, 19890626, 初版, 第101-102頁
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