特許
J-GLOBAL ID：200903068412873245

応力測定装置、応力測定方法及び応力測定用プログラム

発明者：
ペッツォッティ ジュセッペ

ペッツォッティ ジュセッペ について

, 
西方健太郎

西方健太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 西村 竜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077499
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265571
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】従来では応力測定がほぼ不可能であると考えられていた試料の応力測定を行える応力測定装置を提供する。【解決手段】エネルギ線EBを試料Wに照射する照射装置2と、その試料Wから発生する光Lの波長毎の強度を検出する検出装置3と、前記波長毎の強度から光Lのスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを生成するスペクトルデータ生成部41と、そのスペクトルデータの示すスペクトル波形をスムージングするスムージング部42と、スムージングによって得られた波形に微分演算を施す微分演算部43と、微分演算によって得られた値がプラスからマイナスに反転する時点での波長をピーク波長とする波長特定部44と、測定対象となる試料から得られるピーク波長と基準となるピーク波長との変位量に基づいて、その試料に作用している応力を算出する応力算出部45とを備えるようにした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
エネルギ線を試料に照射する照射装置と、 その試料から発生する光の波長毎の強度を検出する検出装置と、 前記波長毎の強度から光のスペクトル波形を示すデータであるスペクトルデータを生成するスペクトルデータ生成部と、 そのスペクトルデータの示すスペクトル波形をスムージングするスムージング部と、 スムージングによって得られた波形に微分演算を施す微分演算部と、 微分演算によって得られた値がプラスからマイナスに反転する時点での波長をピーク波長とする波長特定部と、 測定対象となる試料から得られるピーク波長と基準となるピーク波長との変位量に基づいて、その試料に作用している応力を算出する応力算出部とを備えたものであることを特徴とする応力測定装置。
IPC (1件)：
G01L1/00
FI (1件)：
G01L1/00 A
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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