特許
J-GLOBAL ID：200903068573931555
ネガ型感光性樹脂組成物、これを用いたパターン形成方法、および電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182961
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072918
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 安全かつ簡便な工程で、基板等との接着性に優れた微細なポリマー膜パターンを形成し得るネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 加熱により脱水環化して硬化する熱硬化性ポリマー前駆体と、感光性熱硬化促進剤とを含有するネガ型感光性樹脂組成物である。前記感光性熱硬化促進剤は、光照射により脱離する保護置換基で置換された化合物、又は光照射によりオキシド基が転移して熱硬化促進能を発生するN-オキシド化合物とすることができる。或いは、感光性熱硬化促進剤は、光照射により酸を発生して熱硬化促進能を発生する化合物としてもよい。さらに、感光性熱硬化促進剤は、酸と反応することにより熱硬化促進能を発生する化合物に変化する潜在性熱硬化促進能と、光照射により酸を発生する光酸発生剤とにより構成することもできる。
請求項（抜粋）：
加熱により脱水環化して硬化する熱硬化性ポリマー前駆体と、光照射により脱離する保護置換基で置換された化合物を含む感光性熱硬化促進剤とを含有するネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/038 601
, G03F 7/038 501
, C08G 73/10
, C08L 79/08
, H05K 3/28
, H05K 3/46
G03F 7/038 601
, G03F 7/038 501
, C08G 73/10
, C08L 79/08 Z
, H05K 3/28 D
, H05K 3/46 T
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示
前のページに戻る
