合成石英ガラス部材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-264671
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】 200nm以下の波長、特にはフッ素エキシマレーザ(157nm)を効率よく透過させ、ダメージを受けて透過率の低下が生じることのない、合成石英ガラス部材を提供する。【解決手段】水酸基の含有量が1〜50ppm、フッ素の含有量が100〜1000ppmで、塩素を含まないとともに、複屈折が2nm/cm以下であることを特徴とする200nm以下の波長で用いられる合成石英ガラス部材。該合成石英ガラス部材は、フォトマスク用合成石英ガラス基板、あるいはフッ素エキシマレーザを光源とする光学系で用いられる。

請求項（抜粋）：

水酸基の含有量が1〜50ppm、フッ素の含有量が100〜1000ppmで、塩素を含まないことを特徴とする200nm以下の波長で用いられる合成石英ガラス部材。

IPC (6件)：

C03C 3/06 , C03B 20/00 , G03F 1/14 , H01L 21/027 , H01S 3/00 , H01S 3/225

FI (7件)：

C03C 3/06 , C03B 20/00 F , G03F 1/14 B , H01S 3/00 B , H01L 21/30 502 P , H01L 21/30 541 Z , H01S 3/223 E

Fターム (65件)：

2H095BA07 , 2H095BC27 , 4G014AH00 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE02 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062MM04 , 4G062NN35 , 5F071AA06 , 5F071JJ05 , 5F072AA06 , 5F072JJ05 , 5F072RR05 , 5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (8件)

透明石英ガラスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042252 出願人：旭硝子株式会社
真空紫外用石英ガラスの製造方法および石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-170984 出願人：株式会社ニコン
耐紫外線性石英ガラスフアイバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-100477 出願人：信越化学工業株式会社, 三菱電線工業株式会社

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